一般來說,在選擇廢氣處理工藝路線時(shí),應(yīng)首先根據(jù)廢氣的來源和性質(zhì)&40;溫度、壓力、成分&41;然后選擇所需的廢氣處理工藝。根據(jù)吸附劑再生方法和解吸氣體后處理方法的不同。
2024-06-03

在高科技行業(yè)的許多生產(chǎn)過程中——例如蝕刻、CVD和外延工藝——都會用到關(guān)鍵氣體,產(chǎn)生的廢氣需要直接處理。這些被認(rèn)為是溫室氣體的廢氣有毒和/或高度易燃,并且經(jīng)常對生產(chǎn)設(shè)施和環(huán)境構(gòu)成重大風(fēng)險(xiǎn)。例如,半導(dǎo)體行業(yè)使用全氟化碳,其全球變暖潛力極高,因此需要有效的廢氣處理。 將不同的氣體混合并輸送到晶圓廠的中央廢氣系統(tǒng)中可能會產(chǎn)生高度易燃和易爆的氣體混合物,這在過去偶爾會導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)設(shè)施的全部損失。氣體中含有的顆粒也可能導(dǎo)致排氣堵塞。為了消除這些風(fēng)險(xiǎn),需要在“使用點(diǎn)”(POU)處理工藝廢氣,從而立即減少有害廢氣。這可以通過燃燒/濕法系統(tǒng)、氣體洗滌器和靜電過濾器進(jìn)行管理。? ?
2024-06-03

? ? ? 氯化氫作為副產(chǎn)品或廢氣通過加工業(yè)中的各種工藝產(chǎn)生。在許多國家,氯化氫有嚴(yán)格的最高排放水平,這意味著它必須從廢氣流中去除。這可以簡單地通過將其從廢氣中洗掉來完成,或者在數(shù)量足夠大的情況下,通過吸收它來生產(chǎn)鹽酸產(chǎn)品。 氯化氫對水有很大的親和力,只要找到合適的方法使氣體和水接觸,就可以很容易地完成吸收。氯化氫吸收到水中會產(chǎn)生大量熱量,這些熱量必須從系統(tǒng)中除去。可達(dá)到的理論最大濃度取決于溫度和進(jìn)入工廠的廢氣中 HCI 的分壓。 對于任何特定應(yīng)用,最合適的 HCl 吸收工藝取決于原料的性質(zhì)和所需的產(chǎn)品。三種基本類型是分批操作的 HCI 洗滌器或連續(xù)操作的絕熱和等溫吸收器。 ? ? ? ?氯化氫和鹽酸是腐蝕性很強(qiáng)的材料,會腐蝕化學(xué)加工工業(yè)中常用的許多建筑材料。硼硅酸鹽玻璃是理想的結(jié)構(gòu)材料,適用于處理氯化氫氣體、鹽酸和除氫氟酸外的任何雜質(zhì)。 具有和不具有中和作用的 HCL 洗滌器 ? ? ? ?HCl 氣體洗滌器代表了 HCl 吸收器的最簡單形式,該吸收器在氣流方面連續(xù)運(yùn)行,而對于吸收液體則分批運(yùn)行。它特別適用于氯化氫濃度低且進(jìn)一步加工形成鹽酸沒有經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢的情況。目的是從廢氣流中去除 HCl。在這種類型的裝置中,塔中的液氣比通常非常高。因此,該過程中產(chǎn)生的任何溶液熱量都將被液相吸收,從而避免了對冷卻器的需要。增加氣流中 HCl 的濃度或增加總量可能需要通過放置在再循環(huán)回路中的冷卻器去除產(chǎn)生的熱量。向吸收液中添加氫氧化鈉可中和吸收的 HCl,從而改善傳質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)更有效的洗滌過程。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),一個(gè)容納中和吸收液的容器與一個(gè)泵一起位于塔的底部。該液體循環(huán)通過塔,連續(xù)吸收 HCl 氣體,直到吸收液體被半間歇中和。這可以通過連續(xù)的 pH 測量來監(jiān)測。 HCl-洗滌器 DN200 ? HCL在水中的吸收 ? ? ? ? 氯化氫在水中的吸收是強(qiáng)烈放熱的~2100 kJ/kg HCl,這意味著吸收液很容易變熱。只有在低于 40°C 的溫度下才能在水中獲得高濃度的 HCl。為了保持這些低溫,必須去除吸收能量。這種去除以不同的方式完成,進(jìn)一步描述為等溫和絕熱 HCl 吸收。 鹽酸的沸點(diǎn)與 HCl 濃度的關(guān)系 ? ?
2024-06-03
